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【特長】
●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。


【用途】
●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置。
●真空蒸着装置、凍結乾燥器。
●医療用機器全般。


【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz:50/60
●到達圧力(Pa):9.3
●吸気口径(mm):18
●電源(V):単相100
●寸法(mm):156.0×341.0×199.5
●騒音値(dB):-
●質量(kg):11
●サーマルプロテクタ付
●異電圧対応可(お問い合せください)


【材質/仕上】

【セット内容/付属品】

【注意】
●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。

【JANコード】4571133301051

【質量】11KG

【ブランド】ULVAC    

【原産国】日本

【メーカー名】アルバック機工(株)

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