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デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
●デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
●ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm?100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。
●位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ)を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
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